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电磁分析
场发射扫描电子显微镜(SEM）
仪器图片 |
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仪器名称 |
场发射扫描电子显微镜(SEM） |
仪器型号 |
德国蔡司sigma500 |
生产厂家 |
德国蔡司 |
仪器简介 |
蔡司公司推出的Sigma 500场发射扫描电镜采用成熟的GEMINI光学系统设计，分辨率超过0.8nm，为您提供优秀分辨率和分析性能科研平台。 |
技术参数 |
分辨率：0.8nm@30kV STEM 0.8nm @15 kV 1.4 nm @1kV 放大倍数：10-1,000,000× 加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现） 探针电流： 3pA～20nA（100nA选配） 稳定性优于 0.2%/h 低真空范围：2-133Pa（Sigma 500VP可用） 样品室： 358 mm（φ），270.5 mm（h） 样品台：5轴优zhong心全自动 X＝130mm Y＝130mm Z＝50mm T＝-4°－70° R＝360° 系统控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制 存储分辨率：32k x 24k pixels |
主要功能 |
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检测案例 |
      
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样品要求 |
金属、薄膜、半导体、陶瓷、复合、高分子等均可，具有一定导电性或喷碳/金处理，块体尺寸在 1 cm3 以下，粉体约 5 mg 左右。 |
